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Ion bombardment and ion-assisted etching in rf discharges /
por
Manenschijn
,
Albert
.
Publicado 1991.
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IVESC '96 : proceedings of the international vacuum electron sources conference 1996, Eindhoven, The Netherlands, July 1-4, 1996 /
por
International vacuum electron sources conference (1996 : Eindhoven, The Netherlands)
Publicado 1997.
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Technische Universiteit van Delft
