Proceedings of the AVS Symposium on Ion Implantation : New Prospects from Materials Modification, 14 June 1978, T. J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York /
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| Otros Autores: | , |
| Formato: | Sin ejemplares |
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| Publicado: |
New York :
Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics,
1978.
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| Colección: | Journal of Vacuum Science and Technology ;
5 (1978) |
| Materias: |
| Descripción Física: | p. 1629-1685 : il. ; 30 cm. |
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| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
| ISBN: | 0883182467 |
