Colloque international sur les applications des faisceaux ioniques à la technologie des semiconducteurs = International Conference on Applications of Ions [sic] Beams to Semiconductor Technology : Grenoble, 24-26 mai, 1967 /
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | Francés |
| Publicado: |
Gap :
Editions Ophrys,
[1967]
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Tabla de Contenidos:
- Sources d'ions et optique ionique
- Mesures de profils et canalisations
- Defauts et processus secondaires
- Propriétés électriques des ions
- Fabrication de dispositifs.
