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| LEADER |
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| 008 |
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| 005 |
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| 001 |
BCCAB006939 |
| 003 |
AR-BCCAB |
| 245 |
1 |
0 |
|a Symposium on Sputtering :
|b proceedings of the Symposium on Sputtering, Perchtoldsdorf/Wien, Austria, 1980 April 28-30 /
|c editors, P. Varga, G. Betz, F.P. Viehböck.
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| 260 |
# |
# |
|a Wien, Austria :
|b Institut für Allgemeine Physik, Technische Universität Wien,
|c 1980.
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| 300 |
# |
# |
|a 920 p. :
|b il. ;
|c 24 cm.
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| 111 |
2 |
# |
|a Symposium on Sputtering
|d (1980 :
|c Vienna, Austria)
|
| 700 |
1 |
# |
|a Varga, P.
|
| 700 |
1 |
# |
|a Betz, G.
|
| 700 |
1 |
# |
|a Viehböck, Franz P.,
|d 1923-
|
| 710 |
2 |
# |
|a Technische Universität Wien.
|b Institut für Allgemeine Physik.
|
| 710 |
1 |
# |
|a Austria.
|b Bundesministerium für Wissenschaft und Forschung.
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| 650 |
# |
0 |
|a Sputtering (Physics)
|v Congresses.
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| 650 |
# |
0 |
|a Ion bombardment
|v Congresses.
|
| 650 |
# |
0 |
|a Ions
|x Scattering
|v Congresses.
|
| 029 |
# |
# |
|a NLGGC
|b 112380743
|
| 049 |
# |
# |
|a AR5A
|
| 040 |
# |
# |
|a CAI
|c CAI
|d OCL
|d OCLCQ
|b spa
|d arbccab
|
| 500 |
# |
# |
|a Organized by the Institut für Allgemeine Physik, Technische Universität Wien and sponsored by the Bundesministerium für Wissenschaft und Forschung der Republik Österreich.
|
| 500 |
# |
# |
|a On cover: SOS 80.
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| 942 |
# |
# |
|c BK
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| 952 |
# |
# |
|2 udc
|a ARBCCAB
|b ARBCCAB
|i 7243
|o 539.231:061.3 S68 1980
|p 7243
|t 1
|y BK
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