Proceedings of the Thirteenth Annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on plasma and ion-beam processing, 2 June 1982, IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York /

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Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Kelly, Roger., Cuomo, J. J.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: New York : American Institute of Physics, 1982.
Colección:Journal of vacuum science and technology ; v. 21, no. 3
Materias:
Descripción
Notas:Incluye índice.
Descripción Física:p. 725-815 : il. ; 29 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISBN:0883184052