Proceedings of the Thirteenth Annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on plasma and ion-beam processing, 2 June 1982, IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York /
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Otros Autores: | , |
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Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1982.
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Colección: | Journal of vacuum science and technology ;
v. 21, no. 3 |
Materias: |
Notas: | Incluye índice. |
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Descripción Física: | p. 725-815 : il. ; 29 cm. |
Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
ISBN: | 0883184052 |