Proceedings of the workshop on refractory metal silicides for VLSI II.
Guardado en:
Autor principal: | |
---|---|
Autor Corporativo: | |
Otros Autores: | , , , |
Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1985.
|
Colección: | Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ;
v. 2, no. 4 |
Materias: |
Notas: | Título de tapa. Special editor for the proceedings: Michael D. Strathman. |
---|---|
Descripción Física: | x, 1318-1580 p. |
Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |