Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Boston :
Artech House,
2004.
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Edición: | 2nd ed. |
Colección: | Microelectromechanical systems series
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Materias: |
Descripción Física: | xx, 283 p. : il. ; 26 cm. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
ISBN: | 1580535909 (alk. paper) |