Selección de un sistema de barrido que permita dopar un sustrato con implantación iónica, de manera uniforme /
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Autor principal: | |
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Otros Autores: | , |
Formato: | Libro |
Lenguaje: | Español |
Publicado: |
1974.
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Materias: |
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Instituto Balseiro
Inventario | Ej. | Ubicación | Disponibilidad | Estado de Circulación |
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13888 | 1 | T.E. [043]53 1974 A31 | Sala | Disponible |