Selección de un sistema de barrido que permita dopar un sustrato con implantación iónica, de manera uniforme /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Arévalo, Horacio M.
Otros Autores: Salvatelli, E. 1937-2009., Universidad Nacional de Cuyo. Instituto de Física "Dr. José A. Balseiro".
Formato: Libro
Lenguaje:Español
Publicado: 1974.
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Instituto Balseiro

InventarioEj.UbicaciónDisponibilidadEstado de Circulación
13888 1 T.E. [043]53 1974 A31 Sala Disponible