Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Corro, Pablo Guillermo del.
Otros Autores:	Pastoriza, Hernán., Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro
Formato:	Libro
Lenguaje:	Español
Publicado:	2017.
Materias:	Micro-electromechanical systems Comb drives Nano-fabrication Capacitive sensing Dynamics stencil Thermal evaporation Sistemas micro-electromecanicos Nano-fabricación Sensado capacitivo Esténcil dinámico Evaporación térmica
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