Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS /

Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Corro, Pablo Guillermo del.
Otros Autores: Pastoriza, Hernán., Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro
Formato: Libro
Lenguaje:Español
Publicado: 2017.
Materias:
Micro-electromechanical systems
Comb drives
Nano-fabrication
Capacitive sensing
Dynamics stencil
Thermal evaporation
Sistemas micro-electromecanicos
Nano-fabricación
Sensado capacitivo
Esténcil dinámico
Evaporación térmica
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