Ion implantation in semiconductors, silicon and germanium /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Mayer, James W., 1930-
Otros Autores: Eriksson, Lennart, 1938- joint author., Davies, John Arthur, 1927- joint author.
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: New York : Academic Press, 1970.
Materias:
Descripción
Descripción Física:xiii, 280 p. : il. ; 24 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISBN:0124808506