Ion implantation in semiconductors, silicon and germanium /
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | |
Publicado: |
New York :
Academic Press,
1970.
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Materias: |
Descripción Física: | xiii, 280 p. : il. ; 24 cm. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
ISBN: | 0124808506 |