Ion implantation in semiconductors ; proceedings /
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| Otros Autores: | , |
| Formato: | Libro |
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| Publicado: |
Berlin ; New York :
Springer-Verlag,
1971.
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| Materias: |
| Notas: | 2 ejs. |
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| Descripción Física: | 506 p. : il. ; 26 cm. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
| ISBN: | 3540056661 |
