Proceedings of the Tenth Annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces, 25-27 January 1983, Sweeney Convention Center, Santa Fe, New Mexico /
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Otros Autores: | , , |
Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1983.
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Colección: | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena,
v. 1, no. 3 |
Materias: |
Notas: | Incluye índice. |
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Descripción Física: | p. 519-859 : il. ; 30 cm. |
Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
ISSN: | 0734-211X ; |