Papers presented at the European Materials Research Society 1999 Spring Meeting, Symposium F: Process Induced Defects in Semiconductors, June 1-4, 1999, Strasbourg, France /
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Otros Autores: | , , , |
Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Amsterdam :
Elsevier,
c2000.
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Colección: | Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology ;
v. B71 (14 Feb., 2000). |
Materias: |
Notas: | "Special issue"--P. v. Incluye indices. |
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Descripción Física: | ix, 340 p. : il. ; 28 cm. |
Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |