Beam injection assessment of defects in semiconductors : [edited by] J. Piqueras, P. Fernández and B. Méndez.

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: International Workshop on Beam Inection Assessment of Defects in Semiconductors (4th : 1996 : El Escorial, Spain)
Autor Corporativo: International Workshop on Beam Inection Assessment of Defects in Semiconductors
Otros Autores: Piqueras, J., ed., P. Fernández, ed., Méndez, B., ed.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Amsterdam : Elsevier, 1996.
Colección:Materials Science and Engineering 1996 ; B 42, nos. 1-3
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260 # # |a Amsterdam :  |b Elsevier,  |c 1996. 
300 # # |a x, 316 p.  |b il. ;  |c 27 cm. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas. 
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500 # # |a "Containing papers presented at the 4th International Workshop on Beam Inection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 96), 3-6 june 1996, El Escorial, Spain". 
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