Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications /
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Autor principal: | |
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes Publications,
c1992.
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Colección: | Materials science and process technology series
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Materias: | |
Acceso en línea: | Reseña |
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Instituto Balseiro
Inventario | Ej. | Ubicación | Disponibilidad | Estado de Circulación |
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15093 | 1 | 539.23 W269 | Sala | Disponible |