Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Wasa, Kiyotaka.
Otros Autores: Hayakawa, Shigeru, 1925-
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications, c1992.
Colección:Materials science and process technology series
Materias:
Acceso en línea:Reseña

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