Proceedings of the workshop on refractory metls and silicides for VLSI III.

Proceedings of the workshop on refractory metls and silicides for VLSI III.

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autor principal: Workshop on refractory metls and silicides for VLSI (3rd : 1985 : St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California)
Autor Corporativo: Workshop on refractory metls and silicides for VLSI
Otros Autores: Strathman, Michael D., ed.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:Inglés
Publicado: New York : American Institute of Physics, 1986.
Colección:Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ; v. 3, no. 6
Materias:
Congresses.
Congresos.
Refractory metals
Metales refractarios
LEADER 01142nam#a22002775a#4500
008 070213s1986####nyu###########100#0#eng#d
005 20070213080829.0
001 BCCAB013583
003 AR-BCCAB
245 1 0 |a Proceedings of the workshop on refractory metls and silicides for VLSI III. 
260 # # |a New York :  |b American Institute of Physics,  |c 1986. 
300 # # |a xxiv, 1581-1800. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas e índice. 
111 2 # |a Workshop on refractory metls and silicides for VLSI  |n (3rd :  |d 1985 :  |c St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California) 
080 # # |a 666.76:061.3 
650 # 7 |a Congresses.  |2 inist 
650 # 7 |a Congresos.  |2 inist 
650 # 7 |a Refractory metals  |2 inist 
650 # 7 |a Metales refractarios  |2 inist 
700 1 # |a Strathman, Michael D.,  |e ed.  |4 edt 
490 1 # |a Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ;  |v v. 3, no. 6 
040 # # |a arbccab  |b spa 
500 # # |a Título de tapa. 
500 # # |a Special editor for the proceedings: Michael D. Strathman. 
942 # # |c BK 
952 # # |2 udc  |7 NOT_LOAN  |a ARBCCAB  |b ARBCCAB  |i 013583_nuevo-0  |o J. VAC. SCI. TECHNOL. B 1985  |p 013583_nuevo-0  |t 1  |y BK 

Ejemplares similares