Proceedings of the 10th symposium on plasma science for materials : Tokyo, Japan, June 11-12, 1997 /

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autor principal: Symposium on plasma science for materials (10th : 1997 : Tokyo, Japan)
Autor Corporativo: Symposium on plasma science for materials
Otros Autores: Takai, O.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:Inglés
Publicado: Amsterdam : Elsevier, 1998.
Colección:Thin Solid Films, v. 316, nos. 1-2
Materias:
Descripción
Descripción Física:vii, 199 p.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas e índices.
ISSN:0040-6090 ;