Proceedings of the 10th symposium on plasma science for materials : Tokyo, Japan, June 11-12, 1997 /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Symposium on plasma science for materials (10th : 1997 : Tokyo, Japan)
Autor Corporativo: Symposium on plasma science for materials
Otros Autores: Takai, O.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Amsterdam : Elsevier, 1998.
Colección:Thin Solid Films, v. 316, nos. 1-2
Materias:
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260 # # |a Amsterdam :  |b Elsevier,  |c 1998. 
300 # # |a vii, 199 p. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas e índices. 
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