Proceedings of the workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI IV.

Proceedings of the workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI IV.

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI (4th : 1986 : St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California)
Autor Corporativo: Workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI
Otros Autores: Annual symposium of the greater New York chapter of the AVS on strained layer superlattices
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: New York : American Institute of Physics, 1986.
Colección:Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ; v. 4, no. 6
Materias:
Congresses.
Congresos.
Refractarios
Refractories

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