Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications /
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| Otros Autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes Publications,
c1991.
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| Colección: | Materials science and process technology series
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | Reseña |
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| Inventario | Ej. | Ubicación | Disponibilidad | Estado de Circulación |
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| 15089 | 1 | 539.23 G485 | Sala | Disponible |
