Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | |
| Publicado: |
Boca Raton :
CRC Press,
c2002.
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| Edición: | 2nd ed. |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | Reseña |
| Descripción Física: | 723 p. : col. il. ; 29 cm. |
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| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índices. |
| ISBN: | 0849308267 (alk. paper) |
