Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication /
Guardado en:
| Otros Autores: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | |
| Publicado: |
Bellingham, Wash., USA :
SPIE Optical Engineering Press,
c1997.
|
| Colección: | IEE materials and devices series ;
12A-12B |
| Materias: |
| Descripción Física: | 2 v. : il. ; 26 cm. |
|---|---|
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
| ISBN: | 0819423785 (v. 1) |
