Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication /
Guardado en:
| Otros Autores: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | |
| Publicado: |
Bellingham, Wash., USA :
SPIE Optical Engineering Press,
c1997.
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| Colección: | IEE materials and devices series ;
12A-12B |
| Materias: |
Tabla de Contenidos:
- v. 1. Microlithography
- v. 2. Micromachining and microfabrication.
