High energy ion implantation : proceedings of Symposium C--High Energy Ion Implantation of the E-MRS 1991 Spring Meeting, Strasbourg, France, May 28-30, 1991 /
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Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Amsterdam, Netherlands :
North-Holland,
1992.
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Colección: | Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms,
v. 62, no. 3 |
Descripción Física: | vi, p. 309-430. |
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ISSN: | 0168-583X ; |