Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications /
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| Otros Autores: | , |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | |
| Publicado: |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes Publications,
c1991.
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| Colección: | Materials science and process technology series
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | Reseña |
| Descripción Física: | xxii, 649 p. : il. ; 25 cm. |
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| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
| ISBN: | 0815512813 |
