High resolution focused ion beams : FIB and its applications : the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused ion beam technology /
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Autor principal: | |
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Otros Autores: | , |
Formato: | Libro |
Lenguaje: | |
Publicado: |
New York :
Kluwer Academic/Plenum Publishers,
c2003.
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Materias: | |
Acceso en línea: | Indice |
Descripción Física: | x, 303 p. : il. ; 26 cm. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índices. |
ISBN: | 030647350X |