Microlitography : High integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil Aug 28-Sept 1, 1989 /
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Formato: | Libro |
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Publicado: |
Singapore :
World Scientific,
1990.
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Instituto Balseiro
Inventario | Ej. | Ubicación | Disponibilidad | Estado de Circulación |
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13465 | 1 | 621.382:061.3 W892 1989 | Sala | Disponible |