Microlitography : High integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil Aug 28-Sept 1, 1989 /
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| Otros Autores: | , , |
| Formato: | Libro |
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| Publicado: |
Singapore :
World Scientific,
1990.
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| Materias: |
| Descripción Física: | viii, 184 p. : fig. |
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| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
| ISBN: | 9810201370 |
